執筆:PRIMEAG技術チーム — 電子工場・クリーンルーム設備に携わって10年。2026年9月更新。
要約:電子工場の静電気対策床には4つの工法があります。導電性接着剤で貼るESD PVCタイル、導電性エポキシ塗床、置き敷きのESDゴムマット、そしてESDフリーアクセスフロアです。選定のポイントは3つ:作業者が移動するか、既存の下地の状態はどうか、レイアウト変更時に撤去が必要か。本記事では、コスト、耐用年数、得られる抵抗値を比較し、「ESD床を買ったのに測定で不合格になる」原因を解説します。
1. ESD床の役割 ― そして不要なケース
ESD床は歩行する作業者のための接地経路です。作業者が静電サンダル/静電靴を履くことで、人体の電荷が靴 → 床 → 接地網へと放電されます。区域内の全員が定位置に座ってリストストラップを着用しているなら、ESD床は必須ではありません。各作業位置にESDゴムマットを敷けば十分で、コストも大幅に抑えられます。ESD床が必須になるのは、基板を持って移動する作業者がいる場合(材料投入、QC、修理、部品倉庫)や、顧客・監査がEPA全域を要求する場合です。
2. 4つの工法の比較
| 工法 | 得られる抵抗値(S7.1) | m²あたりの相対コスト | 耐用年数 | 適した用途 | 短所 |
|---|---|---|---|---|---|
| ESD PVCタイル 600×600、厚さ2〜3 mm+銅テープ+導電性接着剤 | 10⁶–10⁸ Ω、安定 | 1×(比較基準) | 10〜15年;破損したタイルは1枚単位で交換可 | SMT工場、組立工程、ISO 6〜8クリーンルーム、既存のコンクリート/タイル床 | 平滑で乾燥した下地が必要;適合する導電性ワックスを使う必要あり |
| 導電性エポキシ(導電プライマー+ESDトップコート) | 10⁶–10⁹ Ω | 0.8〜1.2× | 5〜8年;通路から摩耗、部分補修が難しい | 新築工場、広い床面積、軽量フォークリフト | 施工に5〜7日の操業停止;誤ったトップコートで再塗装するとESD性能を失う |
| 2層ESDゴムマット置き敷き+アースコード | 10⁶–10⁹ Ω | 0.3〜0.5× | 3〜5年 | 着座作業位置、仮設エリア、賃貸工場 | 敷いた場所のみ有効;マット端につまずく;台車走行不可 |
| ESDフリーアクセスフロア(鋼製フレーム上のHPL/PVC) | 10⁶–10⁹ Ω | 3〜5× | 15年以上 | ISO 5クリーンルーム、サーバールーム、床下配線が必要な場所 | 高価、床高300〜500 mmを要する |
3. 決め手となる3つの質問
作業者は基板を持って移動しますか?はい → 床施工が必要(PVCまたはエポキシ)。いいえ → 作業位置にマット。
既存の下地は?平滑で乾燥したコンクリート → PVC、エポキシどちらも可。状態の良いセラミックタイル → PVCを直接施工(目地埋め、銅テープ)。タイルの浮き・湿気のある下地 → 先に下地処理が必要です。処理しないとPVCは端から剥がれ、エポキシは膨れます。
3〜5年以内にレイアウト変更や工場移転の予定は?ある → PVC(1枚ずつ剥がして貼り直し可能)またはマット。ない → エポキシ、PVCどちらでも可。
4. ESD床が測定で不合格になる理由 ― 現場で多い5つの間違い
- ESD床に一般のワックスを塗る。最も多い間違いです。家庭用・一般用ワックスは絶縁層になり、1回の床洗浄・ワックスがけで抵抗値が10¹²Ωまで上がります。導電性ワックス(JD-37)だけを使用してください。誤って塗ってしまった場合も、EAR-11で剥離して塗り直せば合格に戻ります。
- 一般の床用接着剤を使う。一般の接着剤は絶縁性のため、PVCタイルが銅テープ網とつながりません。2液性の導電性接着剤を使用する必要があります。
- 銅テープ網がない、または銅テープが接地されていない。網目は3〜5 m間隔、100 m²ごとに最低1か所の接地点を設けます。
- テスター(マルチメーター)で測定する。意味がありません。ANSI/ESD S7.1に従い、5 lb電極を用いて10/100 Vの測定器で、点間および点–接地間を測定してください。
- 床は合格でも靴が不合格。人体–靴–床システムは<3.5×10⁷ Ω(S97.1)である必要があります。良い床+一般の靴=静電気対策になっていません。EPA入口で毎シフト靴を点検してください。
5. ESD性能を10年維持するためのメンテナンス
- 毎日、希釈した中性洗剤で清掃します。シリコーン入りの洗剤やワックスは使用しないでください。
- 導電性ワックスは通行量に応じて6〜12か月ごとに再塗布します。新たに塗る前に旧皮膜を剥離します。
- 抵抗測定は12か月ごと、および床の研磨・洗浄のたびに実施し、測定記録を監査用に2年間保管します。
- 破損したタイルは部分交換(PVC)で対応でき、区域全体をやり直す必要はありません。
貴社工場に合った工法を選びたい方は、面積、下地の状態、区域の写真をお問い合わせフォームからお送りください。PRIMEAGが現地調査を行い、3日以内に施工のお見積もりをご提出します。