ANSI/ESD S20.20审核时，审核员先查记录，再看设备。工厂需要证明3件事：有防静电控制计划，有培训，定期测量值在限值内，例如手腕带系统低于35 MΩ。以下是PRIMEAG总结的应保存记录及整理方法，确保审核时不缺项。
- 防静电控制计划（ESD Control Program Plan）：适用范围、负责人、EPA平面图。
- 培训：受训人员名单、培训日期、复训日期。
- 物料验收（product qualification）：防静电垫、地板、椅子、周转箱、手套到货时的测量值。
- 定期检查（compliance verification）：每日记录和按既定频率的测量记录。
1. 防静电控制计划
S20.20要求有书面计划，通常包括：适用范围、防静电协调员、计划所保护器件的敏感度等级、培训计划、物料验收计划、定期检查计划、接地系统图和包装规定。附上平面图，标明EPA边界、公共接地点、手腕带和鞋的检测站位置。
2. 培训记录
所有在EPA内工作或接触静电敏感器件的人员，上岗前必须接受培训，并按工厂规定的周期复训。保存内容：学员名单、日期、内容、考核结果。进入EPA的访客也需有专门规定（佩戴脚跟带、由受训人员陪同）。
3. 物料验收
每种带入EPA的防静电物料都需要合格证据：供应商规格书加工厂到货时自测的数据。到货测量方法见防静电物料验收电阻测量。PRIMEAG对防静电手腕带和双层防静电橡胶垫按批测量电阻，随货附测试单。
4. 检查表常用限值
| 项目 | 测量内容 | S20.20限值 | 频率（工厂自定） |
|---|---|---|---|
| 手腕带系统 | 人体 – 腕带 – 接地线系统电阻 | < 3.5 × 10⁷ Ω（35 MΩ） | 每班上岗前 |
| 鞋 – 地面系统 | 系统电阻，或结合人体行走电压测试 | < 3.5 × 10⁷ Ω；或 < 1.0 × 10⁹ Ω且人体电压 < 100 V | 鞋：每班；地面：定期 |
| 工作台面 | 点对地电阻 | < 1.0 × 10⁹ Ω | 定期，如每月 |
| 离子风机 | 偏移电压（offset） | < ±35 V；放电时间由工厂规定 | 定期 |
上述限值摘自ANSI/ESD S20.20；审核时务必采用工厂计划中引用的标准版本和测试方法（STM）。
5. 定期检查记录
- 每日：EPA入口的手腕带和鞋检测记录。带绿/红灯指示和数据记录功能的测试仪，可在审核时直接提供数据；见手腕带测试仪和电阻测试仪。
- 定期：按位置记录工作台面、地面、椅子、推车、离子风机的测量表，注明测量人、测量仪器和校准日期。
- 不合格：记录纠正措施和复测值。审核员通常最关注这一项。
如在考虑以连续监控取代班前检测，请见连续ESD监控还是班前手腕带检测；PRIMEAG可按工位数量提供ESD监控仪方案建议。
6. 测量设备也需要记录
电阻测试仪、手腕带测试仪必须有在有效期内的校准证书。将校准证书复印件与测量记录一并保存。校准过期的仪器测得的数据，可能不被审核员认可。
从哪里开始
- 绘制EPA平面图，列出所有在用的防静电物料。
- 把每种物料的规格书和到货测量数据归入一个文件夹。
- 依据上面的限值表建立定期检查表，指定负责人。
- 试运行一个月，在客户来访前先做内部审核。
常见问题
ANSI/ESD S20.20审核需要哪些主要记录？ 防静电控制计划、培训记录、物料验收记录、含纠正措施的定期检查记录，以及测量设备的校准证书。
防静电手腕带测多少算合格？ 按ANSI/ESD S20.20，人体 – 手腕带 – 接地线系统电阻须低于35 MΩ（3.5 × 10⁷ Ω）。设在EPA入口的手腕带测试仪显示合格/不合格，并应每班记录。
防静电台面、地面多久复测一次？ 标准允许工厂根据使用情况和失效历史，在定期检查计划中自行规定频率。关键是严格按书面规定的频率执行并保存测量数据。
更新：2026年10月14日 — PRIMEAG 技术团队