ANSI/ESD S20.20稽核時，稽核員會先查紀錄，再看設備。工廠需證明3件事：有防靜電管制計畫、有教育訓練、定期量測值在限值內，例如手環系統低於35 MΩ。以下是PRIMEAG整理的應保存紀錄與歸檔方式，讓稽核時不缺件。
- 防靜電管制計畫（ESD Control Program Plan）：適用範圍、負責人、EPA配置圖。
- 教育訓練：受訓人員名單、受訓日期、複訓日期。
- 物料驗收（product qualification）：防靜電墊、地板、椅子、周轉箱、手套到貨時的量測值。
- 定期檢查（compliance verification）：每日紀錄與依既定頻率的量測紀錄。
1. 防靜電管制計畫
S20.20要求書面計畫，通常包括：適用範圍、防靜電協調人員、計畫所保護元件的敏感度等級、教育訓練計畫、物料驗收計畫、定期檢查計畫、接地系統圖與包裝規定。並附上平面圖，標明EPA邊界、共同接地點、手環與鞋子檢測站位置。
2. 教育訓練紀錄
所有在EPA內作業或接觸靜電敏感元件的人員，上線前都必須受訓，並依工廠訂定的週期複訓。保存內容：學員名單、日期、課程內容、測驗結果。進入EPA的訪客也需有專門規定（配戴腳跟帶、由受訓人員陪同）。
3. 物料驗收
每種帶入EPA的防靜電物料都需有合格證明：供應商規格書加上工廠到貨時自行量測的數據。到貨量測方法請見防靜電物料驗收電阻量測。PRIMEAG針對防靜電手環與雙層防靜電橡膠墊逐批量測電阻，並隨貨附上測試單。
4. 檢查表常用限值
| 項目 | 量測內容 | S20.20限值 | 頻率（工廠自訂） |
|---|---|---|---|
| 手環系統 | 人體 – 手環 – 接地線系統電阻 | < 3.5 × 10⁷ Ω（35 MΩ） | 每班上線前 |
| 鞋 – 地板系統 | 系統電阻，或搭配人體步行電壓測試 | < 3.5 × 10⁷ Ω；或 < 1.0 × 10⁹ Ω且人體電壓 < 100 V | 鞋子：每班；地板：定期 |
| 工作桌面 | 點對地電阻 | < 1.0 × 10⁹ Ω | 定期，例如每月 |
| 離子風扇 | 偏移電壓（offset） | < ±35 V；放電時間由工廠訂定 | 定期 |
上述限值摘自ANSI/ESD S20.20；稽核時務必採用工廠計畫中引用的標準版本與測試方法（STM）。
5. 定期檢查紀錄
- 每日：EPA入口的手環與鞋子檢測紀錄。具綠/紅燈顯示與資料記錄功能的測試器，可在稽核時直接提供數據；請見手環測試器與電阻量測儀。
- 定期：依位置記錄工作桌面、地板、椅子、推車、離子風扇的量測表，註明量測人員、量測儀器與校正日期。
- 不合格：記錄矯正措施與複測值。稽核員通常最注意這一項。
若考慮以連續監控取代班前檢測，請見連續ESD監控還是班前手環檢測；PRIMEAG可依工作站數量提供ESD監控器的建議方案。
6. 量測設備也需要紀錄
電阻量測儀、手環測試器必須有在有效期限內的校正證書。將校正證書影本與量測紀錄一併保存。校正過期儀器的量測數據，可能不被稽核員接受。
從哪裡開始
- 繪製EPA配置圖，列出所有使用中的防靜電物料。
- 將每種物料的規格書與到貨量測數據歸入同一個資料夾。
- 依上方限值表建立定期檢查表，指派負責人。
- 試行一個月，於客戶來訪前先進行內部稽核。
常見問題
ANSI/ESD S20.20稽核需要哪些主要紀錄？ 防靜電管制計畫、教育訓練紀錄、物料驗收紀錄、含矯正措施的定期檢查紀錄，以及量測設備的校正證書。
防靜電手環量測多少才算合格？ 依ANSI/ESD S20.20，人體 – 手環 – 接地線系統電阻須低於35 MΩ（3.5 × 10⁷ Ω）。設在EPA入口的手環測試器會顯示合格/不合格，並應每班記錄。
防靜電桌面、地板多久要重新量測一次？ 標準讓工廠依使用狀況與失效歷史，在定期檢查計畫中自行訂定頻率。重點是確實依書面規定的頻率執行並保存量測數據。
更新：2026年10月14日 — PRIMEAG 技術團隊