驗收時合格的EPA接地系統，幾個月後未必仍然合格：線材內部斷裂、按扣鬆脫、桌墊髒污。ANSI/ESD S20.20要求訂定定期檢查計畫。PRIMEAG建議將檢查分為4組項目，依每班 – 每月 – 每季的頻率量測，並記錄在統一的表單上。
- 每班：在EPA入口測試手環與鞋（或使用連續監測器）。
- 每月：量測各工位桌面、桌墊、接地線對地電阻。
- 每季：量測地板、椅子、推車、料架；檢查共同接地點。
- 表單記錄：量測值、限值、合格/不合格、矯正措施。
為什麼必須定期量測
ANSI/ESD S20.20與IEC 61340-5-1要求組織訂定符合性驗證計畫（compliance verification）：量測哪些項目、用什麼方法、多久量一次。標準並未規定固定頻率，由各工廠自行設定，並須能以紀錄佐證。下表頻率是合理的起點，連續數月數據穩定後可適度延長。
建議量測計畫
| 項目 | 量測方式 | 參考限值 | 初始頻率 |
|---|---|---|---|
| 手環 + 接地線 | 在測試器上量測人體 – 腕帶 – 線系統 | < 3.5×10⁷ Ω（S20.20） | 每班，上線前 |
| 防靜電鞋、腳跟帶 | 站在測試器腳踏板上 | 依工廠地板 – 鞋系統配置 | 每班 |
| 桌面、桌墊 | 對地電阻（Rtg） | < 1×10⁹ Ω | 每月 |
| ESD地板 | 對地電阻 | < 1×10⁹ Ω | 每季，除蠟後 |
| 椅子、推車、料架 | 經輪子、腳座的對地電阻 | < 1×10⁹ Ω | 每季 |
| 接地插座、接地線、共同接地點 | 導通、端子鎖緊、目視檢查 | 導通、無鬆脫、無氧化 | 每月 |
限值依ANSI/ESD S20.20；實際參數以各工廠核准的ESD管制計畫為準。S20.20未規定量測頻率：上表的每月/每季頻率適用於高風險區域或運轉初期；結果穩定後，許多工廠將桌面、桌墊延長為6個月，地板延長為12個月。桌面、桌墊與地板材料的量測方法請見橡膠桌墊、ESD地板電阻標準與量測儀器。
所需設備
- 手環測試器與表面電阻計：EPA入口設置手環/鞋測試器；桌面、地板使用附5 lb電極的電阻計。
- 備用接地線與接地插座：腳跟帶與接地線、1.8 m捲線式手環，出現不合格工位時立即更換。
- 連續處理高敏感元件的工位：可考慮以ESD監測器連續監測，取代班前測試。
結果記錄表
每個量測點一列。產線上每個工位都有專屬編號（例如L2-ST05），貼在工作桌框架上以便核對。
| 日期 | 工位編號 | 項目 | 量測儀器 | 量測值（Ω） | 限值 | 合格 / 不合格 | 矯正措施 | 量測人員（職稱） |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| … | L2-ST05 | 桌墊對地 | 表面電阻計 | … | < 1×10⁹ | … | … | ESD技術員 |
量測不合格時
- 停止在該工位處理敏感元件，貼上「不合格」標籤。
- 依下列順序找原因：表面髒污 → 按扣鬆脫 → 接地線斷裂 → 接地插座 → 共同接地點。
- 以不會殘留絕緣膜的清潔劑擦拭桌墊，更換接地線或插座後重新量測。
- 記錄矯正措施；若某項目反覆不合格，應縮短量測週期。
連續監測器與班前測試如何選擇：請見ESD連續監測還是班前手環測試。
工廠尚無量測儀，或想比對自主量測結果：PRIMEAG 到廠免費量測，自確認日期起 3–5 個工作天內安排，結果僅供內部參考（經校正儀器、簽名蓋章的量測報告，僅隨依供貨合約採購的批次提供）。
常見問題
標準規定EPA接地系統多久量測一次？ ANSI/ESD S20.20未規定固定頻率，由工廠自行訂定符合性驗證計畫。常用的初始頻率：手環每班，桌面每月，地板與推車每季。
手環怎樣才算合格？ 依ANSI/ESD S20.20，在測試器上量得的人體 – 腕帶 – 線系統電阻須小於3.5×10⁷ Ω；接地線內含1 MΩ安全電阻，因此量測值不會接近0。
PRIMEAG可以協助工廠量測嗎？ PRIMEAG提供量測儀器、手環、接地線與接地插座，指導量測方法並協助建立記錄表；由PRIMEAG施工的ESD地板，會進行驗收量測並交付量測報告。
更新：2026-11-06 — PRIMEAG 技術團隊
更新日期：2026-10-23