撰文：PRIMEAG技術團隊 — 10年電子廠設備與無塵室經驗。更新於2026年9月。
重點摘要：「防靜電」三個字，只有搭配一個量得出來的數值才有意義。本文說明工廠品保(QA)部門可自行執行的3種基本量測——表面電阻、點對地電阻，以及人員—鞋—地板系統電阻——依ANSI/ESD S20.20與IEC 61340-5-1列出各類物料的合格範圍、需要的儀器，以及如何填寫讓稽核認可的量測紀錄。
1. 三個常被混淆的概念
| 術語 | 電阻範圍 | 意義 | 例子 |
|---|---|---|---|
| 導電性(conductive) | < 10⁴ Ω(表面 < 10⁶ Ω/sq) | 放電非常快——可能快到產生火花 | 黑色導電周轉箱、銅箔、雙層桌墊的底層 |
| 靜電消散性(dissipative) | 10⁴ – 10¹¹ Ω(實務採購 10⁶–10⁹ Ω) | 受控放電——接觸元件表面的標準等級 | 工作桌檯面、桌墊表層、防靜電服、導電纖維手套、地板 |
| 絕緣性(insulative) | > 10¹¹ Ω | 無法放電——會累積電荷；除非必要，EPA內禁止使用 | 一般塑膠、PE袋、kV級絕緣墊、絕緣手套 |
常見錯誤：以為「絕緣就是防靜電」，買了22 kV絕緣墊鋪在EPA裡——結果完全適得其反。
2. 三種量測與所需儀器
(a) 表面電阻／點對點電阻(Rtt)——在表面上放置2個5 lb(2.27 kg)電極，間距25 cm，以10 V(若 <10⁶ Ω)或100 V量測。適用於桌墊、工作桌、地板、周轉箱、托盤。標準：ANSI/ESD S4.1(工作桌)、S7.1(地板)、STM11.11(平面材料)。
(b) 點對地電阻(Rtg)——1個電極放在表面上，另一條線夾在共同接地點。可確認「材料＋接地線＋插座＋接地點」整條路徑是否導通。這是稽核最常問的量測項目。
(c) 人員—鞋—地板系統(S97.1)——作業員穿防靜電鞋站上電極板，手握電極；量測整體電阻。地板再好、鞋子不好，這項量測馬上就會露餡。
儀器：附5 lb電極的表面電阻計(SL-031、FMX-003)用於(a)(b)；手環／鞋子測試器(OTS1801D)用於每日點檢；靜電電壓計(Supra 518)用於量測絕緣物上的電荷及校正離子風扇。三用電表不能使用——測試電壓太低，也沒有標準電極。
3. 各類物料的合格範圍(可直接寫入廠內標準)
| 物料 | 量測方式 | 合格 | 標準 | 頻率 |
|---|---|---|---|---|
| 工作桌檯面、桌墊 | Rtg | < 10⁹ Ω(建議 10⁶–10⁹) | S4.1 | 6個月 |
| 地板、地墊 | Rtt、Rtg | < 10⁹ Ω | S7.1 | 12個月＋打蠟拋光後 |
| 人員＋鞋＋地板 | 系統 | < 3.5×10⁷ Ω(若同時配戴手環則 <10⁹ Ω) | S97.1 | 每班上工前(測試器) |
| 手環＋接地線 | 測試器 | 0.75 – 35 MΩ | S1.1 | 每班上工前 |
| 防靜電服 | 布面Rtt | < 10¹¹ Ω(採購 10⁶–10⁹) | STM2.1 | 6個月／洗滌50次後 |
| 導電纖維手套、指套 | Rtt | 10⁵ – 10⁸ Ω | IEC 61340-4-3 | 每批進料 |
| 防靜電周轉箱、托盤、瓦楞板箱 | Rtt | 10⁴ – 10¹¹ Ω(採購 10⁶–10⁹) | S541 | 每批進料 |
| 屏蔽袋 | 內層Rtt＋放電屏蔽 | < 10¹¹ Ω；< 30 nJ(STM11.31) | S541 | 每批 |
| 防靜電椅 | Rtg(椅面→地板) | < 10⁹ Ω | STM12.1 | 6個月 |
| 離子風扇 | 平衡電壓、放電時間 | ±35 V(建議 ±10 V)；1000→100 V < 10 s | STM3.1 | 6個月 |
4. 進料驗收量測流程(每批15分鐘)
- 物料在廠內溫濕度下靜置12 h(濕度影響很大——量測紀錄須註明RH，在RH 30–50 %下量測最嚴苛)。
- 以IPA擦淨表面，待其乾燥。
- 隨機量測3點Rtt(地板：每100 m²量5點)；若物料已接地，再量測1–2點Rtg。
- 記錄：料號、批號、日期、RH／溫度、量測儀器及校正有效期、測試電壓、各點數值、合格與否判定、量測人員、簽名。保存2年。
- 不合格→隔離該批並通知供應商；PRIMEAG將換貨或到場進行比對量測。
5. 常見問題
量到10¹⁰ Ω，算合格嗎？依S20.20仍屬合格(<10¹¹)，但已是劣化徵兆——新的桌墊／地板應在10⁶–10⁸。請檢查保養蠟層、濕度和清潔狀況。
用10 V還是100 V量測？先用10 V量測；若 >10⁶ Ω再切換到100 V。量測儀器會自動完成這個切換。
儀器多久校正一次？12個月；PRIMEAG可代送校正並追蹤提醒時程。
品保部門需要整套量測儀器＋作業流程指導嗎？請透過聯絡表單與我們聯繫，PRIMEAG交機時會提供量測紀錄範本，並到廠進行1次教育訓練。