작성: PRIMEAG 기술팀 — 전자 공장 설비 및 클린룸 분야 10년 경력. 2026년 9월 업데이트.
요약: “정전기 방지”는 측정된 수치가 함께 있을 때만 의미가 있습니다. 이 글에서는 공장 QA 부서가 직접 수행할 수 있는 3가지 기본 측정 — 표면 저항, 점–접지 저항, 사람–신발–바닥 시스템 저항 — 과 ANSI/ESD S20.20 & IEC 61340-5-1 기준의 자재별 합격 범위, 필요한 측정기, 그리고 감사에서 인정받는 측정 기록 작성법을 설명합니다.
1. 자주 혼동되는 세 가지 개념
| 용어 | 저항 범위 | 의미 | 예시 |
|---|---|---|---|
| 도전성 (conductive) | < 10⁴ Ω (표면 < 10⁶ Ω/sq) | 매우 빠르게 방전 — 지나치게 빨라 스파크가 발생할 수 있음 | 검은색 카본 박스, 동박 테이프, 2층 매트의 하층 |
| 정전기 소산성 (dissipative) | 10⁴ – 10¹¹ Ω (실제 구매 시 10⁶–10⁹ Ω) | 제어된 방전 — 부품이 닿는 표면의 표준 수준 | 작업대 상판, 매트 상층, 방진복, 카본 장갑, 바닥 |
| 절연성 (insulative) | > 10¹¹ Ω | 방전되지 않고 대전됨; 꼭 필요한 경우가 아니면 EPA 내 사용 금지 | 일반 플라스틱, PE 봉투, kV 절연 매트, 절연 장갑 |
흔한 실수: “절연이면 정전기 방지”라고 생각해 EPA에 22 kV 절연 매트를 까는 경우인데, 결과는 정반대입니다.
2. 세 가지 측정과 필요한 측정기
(a) 표면 저항 / 점–점 저항 (Rtt) — 5 lb(2.27 kg) 전극 2개를 표면 위에 25 cm 간격으로 놓고 10 V(<10⁶ Ω인 경우) 또는 100 V로 측정합니다. 매트, 작업대, 바닥, 박스, 트레이에 사용합니다. 표준은 ANSI/ESD S4.1(작업대), S7.1(바닥), STM11.11(평판 재료)입니다.
(b) 점–접지 저항 (Rtg) — 전극 1개는 표면 위에, 다른 리드는 공통 접지점에 연결합니다. “자재 + 접지선 + 단자 + 접지점” 전체가 통전되는지 확인할 수 있습니다. 감사에서 가장 많이 묻는 측정입니다.
(c) 사람–신발–바닥 시스템 (S97.1) — ESD 신발을 신은 작업자가 전극판 위에 서서 손으로 전극을 잡고 전체 저항을 측정합니다. 바닥은 좋은데 신발이 불량이면 이 측정에서 바로 드러납니다.
측정기: (a)(b)에는 5 lb 전극이 포함된 표면 저항계(SL-031, FMX-003); 일일 점검에는 손목 스트랩·신발 테스터(OTS1801D); 절연체의 대전량 측정과 이오나이저 교정에는 정전기 전압 측정기(Supra 518)를 사용합니다. 멀티미터는 사용할 수 없습니다 — 시험 전압이 너무 낮고 표준 전극이 없기 때문입니다.
3. 자재별 합격 범위 (사내 기준서에 반영할 수치)
| 자재 | 측정 | 합격 | 표준 | 주기 |
|---|---|---|---|---|
| 작업대 상판, 테이블 매트 | Rtg | < 10⁹ Ω (권장 10⁶–10⁹) | S4.1 | 6개월 |
| 바닥, 바닥 매트 | Rtt, Rtg | < 10⁹ Ω | S7.1 | 12개월 + 광택 작업 후 |
| 사람 + 신발 + 바닥 | 시스템 | < 3.5×10⁷ Ω (손목 스트랩 병행 시 <10⁹ Ω) | S97.1 | 교대 시작 시 (테스터) |
| 손목 스트랩 + 코드 | 테스터 | 0.75 – 35 MΩ | S1.1 | 교대 시작 시 |
| ESD 방진복 | 원단 Rtt | < 10¹¹ Ω (구매 기준 10⁶–10⁹) | STM2.1 | 6개월 / 세탁 50회 후 |
| 카본 장갑, 핑거코트 | Rtt | 10⁵ – 10⁸ Ω | IEC 61340-4-3 | 입고 로트별 |
| ESD 박스, 트레이, 단프라 | Rtt | 10⁴ – 10¹¹ Ω (구매 기준 10⁶–10⁹) | S541 | 입고 로트별 |
| 실딩 백 | 내층 Rtt + 방전 차폐 | < 10¹¹ Ω; < 30 nJ (STM11.31) | S541 | 로트별 |
| ESD 의자 | Rtg (좌판 → 바닥) | < 10⁹ Ω | STM12.1 | 6개월 |
| 이오나이저 | 밸런스, 방전 시간 | ±35 V (권장 ±10 V); 1000→100 V < 10 s | STM3.1 | 6개월 |
4. 입고 검수 측정 절차 (로트당 15분)
- 자재를 공장 온습도 환경에서 12 h 동안 안정화합니다(습도의 영향이 크므로 RH를 기록에 남기십시오. RH 30–50 %에서의 측정이 가장 엄격합니다).
- 표면을 IPA로 깨끗이 닦고 건조시킵니다.
- 무작위 3개 지점에서 Rtt를 측정합니다(바닥: 100 m²당 5개 지점). 자재가 이미 접지되어 있다면 1–2개 지점에서 Rtg를 측정합니다.
- 기록 항목: 품번, 로트, 날짜, RH/온도, 측정기 및 교정 유효기간, 시험 전압, 지점별 측정값, 합격/불합격 판정, 측정자, 서명. 2년간 보관합니다.
- 불합격 → 해당 로트를 격리하고 공급업체에 통보합니다. PRIMEAG는 로트를 교환하거나 현장에서 대조 측정을 실시합니다.
5. 자주 묻는 질문
10¹⁰ Ω이 나왔는데 합격입니까? S20.20 기준으로는 합격(<10¹¹)이지만 열화의 신호입니다 — 새 매트·바닥은 10⁶–10⁸이어야 합니다. 코팅층, 습도, 청소 상태를 점검하십시오.
10 V로 측정합니까, 100 V로 측정합니까? 먼저 10 V로 측정하고, >10⁶ Ω이면 100 V로 전환합니다. 자동 측정기는 이를 자동으로 처리합니다.
측정기 교정 주기는? 12개월입니다. PRIMEAG가 교정 의뢰를 대행하고 일정 알림도 관리해 드립니다.
QA용 측정기 세트와 절차 안내가 필요하십니까? 문의 양식으로 연락 주시면, PRIMEAG가 측정 기록 양식을 보내드리고 측정기 납품 시 공장에서 1회 교육을 진행합니다.