執筆:PRIMEAG技術チーム — 電子工場・クリーンルーム設備に携わって10年。2026年9月更新。
要約:「静電気対策品」という言葉は、測定できる数値が伴って初めて意味を持ちます。本記事では、工場の品質保証部門が自社で実施できる3つの基本測定 ― 表面抵抗、点–接地間抵抗、人体–靴–床システム抵抗 ― と、ANSI/ESD S20.20およびIEC 61340-5-1に基づく資材別の合格範囲、必要な測定器、そして監査で認められる記録の書き方を解説します。
1. 混同されやすい3つの概念
| 用語 | 抵抗範囲 | 意味 | 例 |
|---|---|---|---|
| 導電性(conductive) | < 10⁴ Ω(表面 < 10⁶ Ω/sq) | 非常に速く放電 ― 速すぎて火花が出ることもある | 黒色カーボンコンテナ、銅テープ、2層マットの下層 |
| 静電気拡散性(dissipative) | 10⁴ – 10¹¹ Ω(実際の購買仕様は10⁶–10⁹ Ω) | 制御された放電 ― 部品に触れる表面の標準レベル | 作業台天板、マット上層、ウェア、カーボン手袋、床 |
| 絶縁性(insulative) | > 10¹¹ Ω | 放電しない ― 帯電する;必要な場合を除きEPA内では禁止 | 一般樹脂、PE袋、kV級絶縁マット、絶縁手袋 |
よくある間違い:「絶縁=静電気対策」と考えて22 kV絶縁マットをEPAに敷いてしまうこと ― 結果はまったくの逆効果です。
2. 3つの測定と必要な測定器
(a) 表面抵抗/点間抵抗(Rtt) ― 5 lb(2.27 kg)電極2個を表面上に25 cm離して置き、10 V(<10⁶ Ωの場合)または100 Vで測定します。マット、作業台、床、コンテナ、トレイに適用。規格はANSI/ESD S4.1(作業台)、S7.1(床)、STM11.11(平面材料)です。
(b) 点–接地間抵抗(Rtg) ― 電極1個を表面に置き、もう一方のリードを共通接地点にクリップします。「材料+アースコード+端子+接地点」全体が導通しているかが分かります。監査で最もよく確認される測定です。
(c) 人体–靴–床システム(S97.1) ― 静電靴を履いた作業者が電極板の上に立ち、手で電極を握って全体の抵抗を測定します。床が良くても靴が悪ければ、この測定ですぐに判明します。
測定器:(a)(b)には5 lb電極付き表面抵抗計(SL-031、FMX-003);日常点検にはリストストラップ/静電靴テスター(OTS1801D);絶縁物上の電荷測定とイオナイザーの校正には静電電位測定器(Supra 518)。マルチメーター(テスター)は使えません ― 印加電圧が低すぎ、標準電極もないためです。
3. 資材別の合格範囲(社内基準に盛り込むべき数値)
| 資材 | 測定 | 合格 | 規格 | 頻度 |
|---|---|---|---|---|
| 作業台天板、テーブルマット | Rtg | < 10⁹ Ω(推奨10⁶–10⁹) | S4.1 | 6か月 |
| 床、フロアマット | Rtt、Rtg | < 10⁹ Ω | S7.1 | 12か月+床洗浄・研磨後 |
| 人体+靴+床 | システム | < 3.5×10⁷ Ω(リストストラップ併用時は<10⁹ Ω) | S97.1 | 始業時(テスター) |
| リストストラップ+コード | テスター | 0.75 – 35 MΩ | S1.1 | 始業時 |
| ESDウェア | 生地上のRtt | < 10¹¹ Ω(購買仕様10⁶–10⁹) | STM2.1 | 6か月/洗濯50回後 |
| カーボン手袋、指サック | Rtt | 10⁵ – 10⁸ Ω | IEC 61340-4-3 | 受入ロットごと |
| ESDコンテナ、トレイ、プラダン | Rtt | 10⁴ – 10¹¹ Ω(購買仕様10⁶–10⁹) | S541 | 受入ロットごと |
| シールドバッグ | 内層Rtt+放電シールド性 | < 10¹¹ Ω;< 30 nJ(STM11.31) | S541 | ロットごと |
| ESDチェア | Rtg(座面 → 床) | < 10⁹ Ω | STM12.1 | 6か月 |
| イオナイザー | イオンバランス、除電時間 | ±35 V(推奨±10 V);1000→100 V < 10 s | STM3.1 | 6か月 |
4. 受入時の検収測定手順(1ロット15分)
- 資材を工場の温湿度環境に12時間置いて安定させます(湿度の影響が大きいため、記録にRHを記入。RH 30〜50 %での測定が最も厳しい条件です)。
- 表面をIPAで清拭し、乾燥させます。
- ランダムな3点でRttを測定(床は100 m²あたり5点);資材がすでに接地されている場合は1〜2点でRtgを測定します。
- 記録項目:品番、ロット、日付、RH/温度、測定器と校正期限、印加電圧、各点の測定値、合否判定、測定者、署名。2年間保管します。
- 不合格の場合 → ロットを隔離し、サプライヤーに通知します。PRIMEAGはロット交換、または現地での立会い測定を行います。
5. よくあるご質問
10¹⁰ Ωと測定されました。合格ですか?S20.20上は合格(<10¹¹)ですが、劣化のサインです ― 新品のマット/床は10⁶–10⁸であるべきです。表面コーティング、湿度、清掃状態を確認してください。
10 Vと100 V、どちらで測定しますか?まず10 Vで測定し、>10⁶ Ωなら100 Vに切り替えます。自動切替の測定器ならこれを自動で行います。
測定器の校正頻度は?12か月です。PRIMEAGが校正の手配を代行し、期限のリマインドも管理します。
品質保証部門向けに測定器一式と手順書が必要ですか?お問い合わせフォームからご連絡ください。PRIMEAGが記録様式をお送りし、測定器の納品時に工場で1回のトレーニングを実施します。