ESDゴムマット・PVC床・キャスターの実測抵抗値：PRIMEAGの測定結果と使うべき測定器2種

PRIMEAG技術チーム作成。2026年10月測定。

「帯電防止マット」「帯電防止床」という言葉はかなり曖昧に使われています。実際には、決められた方法で測定した抵抗が決められた範囲に入って初めてESDと言えます。本記事では、PRIMEAGが出荷前にマット・床・キャスターで測定した実測値をANSI/ESD S20.20およびIEC 61340-5-1と照合し、測定器の選び方とあわせて紹介します。

1. 評価に用いる基準範囲

以下の結果はANSI/ESDの基準範囲と照合しています：拡散性材料 10⁴ – < 10¹¹ Ω（ANSI/ESD S541）；作業台天板・マット・床・キャスター・椅子の対接地抵抗 < 1 × 10⁹ Ω；作業台天板・マットは10⁶ – 10⁹ Ωの品を購入するのが望ましい。資材ごとの全基準表、測定頻度、記録の書き方はESD資材の受入抵抗測定の記事をご覧ください。

10⁶ Ω未満は10 V、10⁶ Ω以上は100 Vで測定。5 lb（2.27 kg）電極、試料表面を清掃し、乾燥すると抵抗が大きく上がるため湿度と温度も記録します。

2. PRIMEAG在庫の実測値

緑色ESDゴムマットのロール上のLED式表面抵抗計、10^7-10^8 ohm帯が点灯
緑色2 mmゴムマット上面：拡散性10⁷–10⁸ Ω/sqのLEDが点灯
緑色ESDゴムマット上のLED式測定器、10^6-10^7 ohm帯が点灯
同ロット2本目：10⁶–10⁷ Ω/sq — 拡散性の範囲内
5 lb電極2個でESDゴムマット黒面を測定するTR1800、結果8.90 x 10^3 ohm
ゴムマット黒色下層：8.90 × 10³ Ω – 60.9 %RH – 28.5 °C → 導電性、接地層として適切
灰色600x600 ESD PVC床タイルを測定するTR1800、結果4.03 x 10^5 ohm
600×600 ESD PVC床タイル：4.03 × 10⁵ Ω – 86.2 %RH – 29.3 °C → 拡散性、10⁹ Ω基準を大きく下回る（高湿度のため乾季より測定値が低く出る）
試料結果範囲判定
緑色ゴムマット – 上面10⁶ – 10⁸ Ω/sq拡散性作業台天板用として合格
ゴムマット – 黒色下層8.90 × 10³ Ω導電性合格、10 mmスナップで接地
600×600 ESD PVC床タイル4.03 × 10⁵ Ω（86 %RH）拡散性STM7.1合格；床全体を < 10⁹ Ωにするには導電性接着剤＋銅箔グリッド施工が必要
5インチ ターコイズPUキャスター（「ESD」表示）4.3 – 8.1 × 10⁹ Ω（10 V）10⁹ Ω基準超過ESD台車用として不合格 – このロットはESD品として出荷しない；キャスター測定記事参照

3. 2種類の測定器と使い分け

ケースに入ったBFN TR1800表面抵抗計キット：本体、黄色の5 lb電極2個、測定リード、取扱説明書
TR1800キット：平行電極内蔵の本体、外部5 lb電極2個、アース線、保護ケース
  • LED式測定器（「ohms per square」タイプ）：10³〜10¹²のLED 10個で、材料がどの範囲かだけを示します。速く安価で、受入時の簡易確認やラインの定期点検に向きます。誤差は約半桁で、数値は記録できません。
  • TR1800デジタル測定器（メグオームメーター）：実数値（例：4.03 e05）を表示し、10 V / 100 Vの2電圧で表面抵抗（Ω/sq、STM11.11内蔵電極）と点間・対接地抵抗（Ω、S4.1・STM7.1の5 lb電極）の両方を測定、%RHと°Cも表示します。受入報告書の作成や監査対応に使う測定器です。

PRIMEAGはLED式測定器で入荷品を選別し、TR1800でESDマット・床・キャスター・ボックス・トレイのロットごとに測定して数値を添えて出荷します。不合格ロット（上記キャスターのように）はESD品として出荷しません。工場に測定器がない場合は、引き渡し時に現地測定を行います。

PRIMEAG CO., LTD – Room 10, Mezzanine, Dai Thanh Binh Building, 911-913-915-917 Nguyen Trai St., Cho Lon Ward, Ho Chi Minh City, Vietnam
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