EPA接地システムの定期測定：項目・頻度・結果記録様式

立ち上げ時の検収で合格したEPAの接地システムでも、数か月後には不合格になっていることがあります。見えない断線、スナップの緩み、マットの汚れが原因です。ANSI/ESD S20.20は定期点検計画を求めています。PRIMEAGは、4つの項目群を毎シフト・毎月・四半期の頻度で測定し、統一した記録様式に記入する方法を提案します。

定期測定が必要な理由

ANSI/ESD S20.20およびIEC 61340-5-1は、組織に適合性検証計画（compliance verification）を求めています。どの項目を、どの方法で、どの頻度で測定するかを定める必要があります。規格は固定の頻度を定めておらず、各工場が自ら設定し、記録で証明できることが求められます。以下の頻度は妥当な出発点であり、数か月分のデータが安定すれば間隔を延ばすことができます。

推奨測定スケジュール

限度値はANSI/ESD S20.20によります。実際の値は各工場で承認されたESD管理計画に従います。S20.20は測定頻度を定めていません。上記の毎月／四半期の頻度は高リスクエリアや稼働初期を想定したもので、結果が安定すれば、天板・マットを6か月、床を12か月に延ばす工場も多くあります。天板、マット、床材の測定方法はゴムマット・ESD床の抵抗基準と測定器をご覧ください。

必要な機器

• リストストラップテスターと表面抵抗計：EPA入口にリストストラップ・靴テスターを設置し、天板と床には5 lb電極付きの抵抗計を使います。
• 予備の接地線・接地ソケット：ヒールストラップと接地線、1.8 mカールコード付きリストストラップを用意し、不合格の位置が出たらすぐに交換します。
• 高感度部品を連続して扱う作業位置：シフト開始時のテストに代えて、連続監視用のESDモニターを検討してください。

結果記録様式

測定ポイントごとに1行記入します。ライン上の各作業位置には固有コード（例：L2-ST05）を付け、作業台フレームに貼って照合します。

不合格の場合

1. その作業位置での敏感部品の取り扱いを中止し、「不合格」ラベルを貼ります。
2. 次の順で原因を調べます：表面の汚れ → スナップの緩み → コードの断線 → 接地ソケット → 共通接地点。
3. 絶縁膜を残さない洗浄剤でマットを拭き、コードまたはソケットを交換して再測定します。
4. 是正処置を記録します。同じ項目で不合格が繰り返される場合は、測定間隔を短くします。

連続モニターとシフト開始時テストの選び方はESD連続モニターかシフト開始時のリストストラップテストかをご覧ください。

測定器をお持ちでない工場や、自主測定の結果と照合したい工場には、日程確定から3–5営業日以内にPRIMEAGが無料で測定に伺います。結果は社内参考用です（校正済み測定器による署名・押印付きの測定記録は、物品供給契約に基づき購入されたロットに添付する場合にのみ発行します）。

よくある質問

規格ではEPAの接地システムをどのくらいの頻度で測定するよう定めていますか？ ANSI/ESD S20.20は固定の頻度を定めておらず、工場が自ら適合性検証計画を作成します。よく使われる初期頻度は、リストストラップが毎シフト、作業台天板が毎月、床と台車が四半期です。

リストストラップはどのような場合に合格ですか？ ANSI/ESD S20.20では、テスターで測定した人体－ストラップ－コード系の抵抗が3.5×10⁷ Ω未満である必要があります。コードには1 MΩの安全抵抗が入っているため、測定値が0に近くなることはありません。

PRIMEAGは工場の代わりに測定を行いますか？ PRIMEAGは測定器、リストストラップ、接地線、接地ソケットを供給し、測定方法と記録様式の作成をご案内します。PRIMEAGが施工したESD床については、検収測定を行い測定報告書をお渡しします。

更新：2026-11-06 — PRIMEAG 技術チーム